ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ МАГНЕТРОННОГО ОСАЖДЕНИЯ И ИММЕРСИОННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ С ПОЛУЧЕНИЕМ ТОНКИХ ПЛЕНОК ПЕНТОКСИДА ВАНАДИЯ

Аннотация

В данной работе тонкие покрытия оксида ванадия были получены методом магнетронного осаждения, нанесение покрытий погружением с различным химическим  составом исходных растворов. Термохромное и электрохромное поведение тонкопленочных покрытий из оксида ванадия вызывает огромный интерес к этому материалу в индустрии smart windows. Были исследованы способы широкоиспользуемых методов нанесения для получения пленков пентаоксида ванадия, изучены основные физико-химические свойства полученных покрытий. В результате исследований в композитной структуре полупроводники с VxOy демонстрируют дополнительные характеристики, что увеличивает области их применения в том числе в нанофотонике и фотовольтаике. Оптические свойства наноразмерных частиц и квантовых точек оксида ванадия имеют хорошо подстраиваемые параметры, что наряду с использованием эффекта поверхностного плазмонного резонанса наделяют материал многими преимуществами. Фазовый состав и кристаллическая структура полученных образцов исследованы рентгеновским дифрактометром X’pert PRO (PANalitical). Спектры оптического пропускания и поглощения сформировавшихся тонких пленок измерены на двухлучевом UV/Vis спектрофотометре Specord® plus (Analytik Jena), при этом положение ячейки для исследуемого образца находится непосредственно перед детектором, что позволяет анализировать мутные образцы