Сайт ВКТУ им. Д.Серикбаева

РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП)

Авторы

  • Ернар Шыныбеков Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет
  • Мадина Сарсембина Nazarbayev University
  • Аманжол Тұрлыбекұлы Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан
  • Бактияр Солтабаев Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан

Ключевые слова:

сенсор, оксид цинка, ацетон, полупроводники.

Выпуск

№ 4 (2022): «Вестник ВКТУ им. Д. Серикбаева»

Раздел

Статьи

Аннотация

Получены кристаллические наностержни на основе ZnO методом осаждения под скользящим углом (GLAD) при рективном магнетроннм распылении. Исследована изменение чувствительности с помощью изменения наноструктуры, что потенциально приводит к высокой эффективности газового сенсора. Уменьшена рабочая температура сенсора до комнатной температуры. Определена газочувствительность полученных сенсоров для углекислого газа, ацетона и водорода.

Биографии авторов

Ернар Шыныбеков

магистр, Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан.

Мадина Сарсембина

магистрант, Школа инженерии и цифровых наук, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан

Аманжол Тұрлыбекұлы

Аманжол Тұрлыбекұлы, PhD, Национальная лаборатория Астана, Назарбаев
Университет, Астана, Казахстан, E-mail: [email protected]

Бактияр Солтабаев

Бактияр Солтабаев, PhD, Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан

Опубликован

21-12-2022

Как цитировать

Шыныбеков, Е., Сарсембина, М., Тұрлыбекұлы, А., & Солтабаев, Б. (2022). РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП). Вестник ВКТУ, (4), 254–261. извлечено от https://vestnik.ektu.kz/index.php/vestnik/article/view/252