РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП)
Ключевые слова:
сенсор, оксид цинка, ацетон, полупроводники.Аннотация
Получены кристаллические наностержни на основе ZnO методом осаждения под скользящим углом (GLAD) при рективном магнетроннм распылении. Исследована изменение чувствительности с помощью изменения наноструктуры, что потенциально приводит к высокой эффективности газового сенсора. Уменьшена рабочая температура сенсора до комнатной температуры. Определена газочувствительность полученных сенсоров для углекислого газа, ацетона и водорода.
Опубликован
21-12-2022
Как цитировать
Шыныбеков, Е., Сарсембина, М., Тұрлыбекұлы, А., & Солтабаев, Б. (2022). РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП). Вестник ВКТУ, (4), 254–261. извлечено от https://vestnik.ektu.kz/index.php/vestnik/article/view/252
Выпуск
Раздел
Статьи
