Сайт ВКТУ им. Д.Серикбаева
  • Размер шрифта
    16px
    Цвета сайта
    Изображения

РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП)

Авторы

Имя Аффилированность
Ернар Шыныбеков Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет
Мадина Сарсембина Nazarbayev University
Аманжол Тұрлыбекұлы Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан
Бактияр Солтабаев Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан

Опубликован:

21-12-2022

Язык статьи:

Русский

Ключевые слова:

сенсор, оксид цинка, ацетон, полупроводники.

Аннотация

Получены кристаллические наностержни на основе ZnO методом осаждения под скользящим углом (GLAD) при рективном магнетроннм распылении. Исследована изменение чувствительности с помощью изменения наноструктуры, что потенциально приводит к высокой эффективности газового сенсора. Уменьшена рабочая температура сенсора до комнатной температуры. Определена газочувствительность полученных сенсоров для углекислого газа, ацетона и водорода.

Биографии авторов

Ернар Шыныбеков

магистр, Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан.

Мадина Сарсембина

магистрант, Школа инженерии и цифровых наук, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан

Аманжол Тұрлыбекұлы

Аманжол Тұрлыбекұлы, PhD, Национальная лаборатория Астана, Назарбаев
Университет, Астана, Казахстан, E-mail: [email protected]

Бактияр Солтабаев

Бактияр Солтабаев, PhD, Национальная лаборатория Астана, Назарбаев Университет, Астана, Казахстан

Шыныбеков, Е., Сарсембина, М., Тұрлыбекұлы, А., & Солтабаев, Б. (2022). РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП). Вестник ВКТУ, (4), 254–261. извлечено от https://vestnik.ektu.kz/index.php/vestnik/article/view/252