ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПОКРЫТИЙ TiN ПРИ МЕТОДЕ МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ

Аннотация

Большое внимание проявляют, при исследовании новых, разных синтезированных, комбинационных соединений и материалов, с использованием методам магнетронного распыления. При помощи данного метода можно достичь требуемого уровня чистоты нанесенных ультратонких пленок на уровне нано масштаба.  В этой обзорной статье показано с помощью метода магнетронного распыления получение роста пленки при определенном условии и необходимого состава наноструктуированных покрытий TiN,  изучена структура и поведение тонких пленок нитрида титана. Проведена серия экспериментов в рамках изучения микроструктуры на расстояние мишени-образца, что привело к изменению роста нанопленки, размера зерен в формирующей наноструктуре при напылении.