ВАКУУМДЫ-ДОҒАЛЫ ТҰНДЫРУ ӘДІСІМЕН АЛЫНҒАН КӨПКОМПОНЕНТТІ НИТРИДТІ ЖАБЫНДАРДЫҢ ҚҰРЫЛЫМЫ МЕН ҚАСИЕТТЕРІ

Аңдатпа

Вакуумды-доғалы тұндырудың инновациялық технологиясының көмегімен біз нитридті көпкомпонентті жабындарды алдық. Жүйелі зерттеулер көрсеткендей, жабындардың химиялық құрамы, микроқұрылымы және қасиеттері тұндыру параметрлерімен тығыз байланысты, мысалы, жұмыс газының қысымы және ығысу потенциалы. Хром және кремний элементтерінің микроқұрылымға әсері және нитридті жабындардың механикалық қасиеттері энергетикалық дисперсиялық микроанализдің (EDS) префиксімен, рентгендік фотоэлектрондық спектроскопиямен (XPS), рентгендік дифрактометриямен (XRD), трансмиссиялық электронды микроскоппен (тақырыптармен), қаттылық өлшеуіштерімен және адгезия сынақтарымен жабдықталған сканерлейтін электронды микроскопия (SEM) көмегімен зерттелді. Зоналық құрылымның бастапқы есептеулері және Гиббс-Розенбаумның үшбұрышты көрінісі нитридті жабындардың элементтік және фазалық құрамын зерттеу үшін қолданылды. Көпкомпонентті нидридті жабындар қарапайым бетке бағытталған кубтық қатты ерітіндінің (ГЦК) фазасынан тұратыны анықталды. Кремнийсіз жабындар үшін құрылым негізінен TiN фазасынан (ГЦК) және Cr₂N тригональды модификациясынан тұрады. қаттылық мәндері диапазонда болды (24-42 GPa). N-ZrTiNb және N-ZrTiNb-Cr жабындары әртүрлі үйкеліс жағдайларында ең жақсы адгезиялық беріктікті қамтамасыз етеді. N-ZrTiNb-CrSi жабындары салыстырмалы түрде төмен қаттылықпен түсіндіруге болатын ең нашар адгезиялық беріктігін көрсетті.