РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ НАНО-РАЗМЕРНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ (МОП)
Опубликован:
21-12-2022Раздел:
СтатьиЯзык статьи:
РусскийКлючевые слова:
сенсор, оксид цинка, ацетон, полупроводники.Аннотация
Получены кристаллические наностержни на основе ZnO методом осаждения под скользящим углом (GLAD) при рективном магнетроннм распылении. Исследована изменение чувствительности с помощью изменения наноструктуры, что потенциально приводит к высокой эффективности газового сенсора. Уменьшена рабочая температура сенсора до комнатной температуры. Определена газочувствительность полученных сенсоров для углекислого газа, ацетона и водорода.
Лицензия
Copyright (c) 2022 Вестник ВКТУ
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.