ЖҰҚА МАГНЕТРОНДЫ БҮРІККІШ ПЛЕНКАЛАРДАҒЫ КРЕМНИЙ ПОЛИМОРФИЗМІН ИДЕНТИФИКАЦИЯЛАУ ЖӘНЕ САНДЫҚ АНЫҚТАУ

Авторлар

Кілт сөздер:

SoG-Silicon, магнетронды бүрку, Caroline D12C, нано кремний, аморфты кремний, кристалды кремний, пленка, раман спектрі, полиморфизм

Журналдың саны

Бөлім

Сәулет және құрылыс

Аңдатпа

Мақалада Раман спектроскопиясы арқылы кремний нано пленкаларындағы кремний полиморфизмін зерттеудің әртүрлі тәсілдерінің келіспеушілігі мәселесі көтеріледі. Мұнда полиморфизмді бағалау Horiba Jobin–Yvon hr800uv (Франция) маркалы құрылғының көмегімен жүргізілді. 315 НМ толқын ұзындығы бар аргон-кадмий лазері қозу көзі ретінде пайдаланылды. Өлшеу 0-ден 3200 см-1 аралығында жүргізілді. Қабықшаның  екі түрі зерттелді. Раман спектрлерін параллель өлшеу барысында екі типтегі пленкалардың полиморфты құрамының біртектілігін анықтады, бұл магнетронды бүрку технологиясының осы бөліктегі CVD әдісінен артықшылығы туралы айтады. Талдау кезінде мыналар анықталды: аморфты кремнийдің көрінісі ретінде түсіндірілген максимумы 120 см-1 болатын бөлінген шың, кремнийдің кристалды түріне жатқызылған 210 см-1 шыңы. 408 және 520 см-1 аймағында нано кремнийдің белгілері ретінде бағалауға болатын шыңдар табылды. Сондай-ақ, спектрограммада 600-660 см-1 (мыс силициді, субстрат пен пленка арасындағы аралық қабат), сондай-ақ мыстың көрінісі ретінде анықталған 900-1000 см-1 және 1500-1660 см-1 шыңдары бар. Аморфты және кристалды құрылымы бар кремний пленкасы жағдайында 315 нм лазердің толқын ұзындығы сәуленің субстратқа және аралық қабаттарға еніп, олардың спектрін тіркеуі үшін жеткілікті екендігі анықталды. Бұл жағдайда субстраттың мысын 1500-1660 см-1 шыңы анықтайды. Нано кристалды құрылымы аз өткізгіш және мыстың идентификациялық шыңы бұл жағдайда 900-1000 см-1 аймағында. Алынған нәтижелер Левицкий В.С. - мен ең көп корреляцияланады. Раман спектрометриясы мен кремний пленкаларының полиморфизмі нәтижелерінің байланысын барынша барабар сипаттайтын кремний пленкаларын анықтау тәсілдерін қолдану ұсынылады.

Жарияланды

2024-09-30

Дәйексөзді қалай келтіруге болады

Толубаев, Қ., Жаутиков, Б., Зобнин, Н., Даирбекова, Г., Кабиева, С., & Al-Kasasbeh , R. (2024). ЖҰҚА МАГНЕТРОНДЫ БҮРІККІШ ПЛЕНКАЛАРДАҒЫ КРЕМНИЙ ПОЛИМОРФИЗМІН ИДЕНТИФИКАЦИЯЛАУ ЖӘНЕ САНДЫҚ АНЫҚТАУ. ШҚТУ Хабаршысы, (3). Retrieved from https://vestnik.ektu.kz/index.php/vestnik/article/view/959